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微传感器与微执行器全书1-4章

消耗积分:3 | 格式:pdf | 大小:13719KB | 2016-03-31

陈潇

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本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。
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