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光纤激光器光学膜料的选择与制备
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2017-11-09
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针对激光在传输过程中的光能损失 ，本文根据光学薄膜理论，设计制备了减反射膜和抗激光的高反射膜，并对激光膜的镀膜材料 、膜系设计、沉积工艺及离子辅助沉积等参数进行了深入研究。研究结果表明，制备的减反膜的反射率 0．2％ ，激光以25。～65。入射时高反射膜的反射率 》99．7％。对 50txm光纤和 K9玻璃镀膜前后的输出功率测试显示多模光纤的功率平均提高了50％，而 K9玻璃的反射功率提高到 99．85％ ；另外，制备的光纤激光器光学膜有效地提高了激光损伤 阈值 ，解决 了低温冷镀 的膜层牢 固性问题 。
对于宽带减反膜 ，首先采用周期膜系进行设计。根据薄膜理论 ，对基底折射率低于 1．62的基底材料 ，通常采用的是 3层膜系，表达式为 SubIM2HL1Air，其中 M、H和 L分别表示为 A1O ，ZrO和 MgF的 1／4中心波长的光学厚度。由于高温下光纤塑料外包层会熔化 ，所 以光纤镀 膜是在低温下进行的，即基底温度低 于 100cc。如果采用上述 3层膜 的材料在光纤端面镀膜 ，膜层很容易脱落。经 过实验 证 明，选 择 M．，H 和 SiO 作 为3层膜 的材料 ，加之离子辅 助沉积 ，保持膜 系不变，其牢固性很好 。利用 TFCalc膜系设计软件得到理论反射率曲线如图 1所示。
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