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MEMS矢量水听器敏感结构的后CMOS释放工艺研究

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:5.51 MB | 2025-07-24

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纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水听器可探测水下质点振速等矢量信息，与互补金属氧化物半 导体(CMOS)集成能够很大程度地提升其性能：，针对纤毛式MEMS矢量水听器的CMOS集成提出了一种 方案，该方案在MEMS后处理工艺IIJ，利用侧墙保护和各向异性湿法腐蚀从正面释放水听器的十字梁敏 感结构。整个后处理过程不需要光刻，降低加工难度的同时，保证了加工结构的精确性。设计出了一种验 证性的工艺流程，具体分析了4种不同结构的湿法腐蚀过程。最终完成了这4种结构的工艺流片，对实 验结果进行了分析。实验验证了该方案的可行性，为纤毛式MEMS矢量水听器的CMOS集成奠定了 基础。

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