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晶体生长参数的检测与优化

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:333 | 2010-03-01

张磊

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为了获得优质的碲锌镉单晶体,采用工控机和组态王6?53开发了一种晶体生长参数的检测优化系统.实现对晶体生长炉内各个温区的温度、籽晶杆的旋转方式及各个时段的旋转速度、布里奇垂直下降速度、坩埚位置及温度等参数的实时检测、记录和存储.根据检测数据可对晶体生长质量及生长缺陷做出分析,为改进晶体生长方案、提高晶体生长质量和优化控制参数提供可靠的依据.
关键词:晶体生长;参数检测;参数优化;组态王6?53

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