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薄膜混合电路中有机薄膜厚度的快速测定

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:144 | 2010-05-04

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摘要：介绍了一种无损、快速、准确测定有机薄膜厚度的新方法一FT—IR反射一干涉光谱法。对测厚的原理进行了分析，将此方法用于薄膜微波电路生产中光刻臆和聚酰亚胺厚度的测定，并与传统的用台阶仪测厚方法进行比较。FT一IR反射-干涉光谱法更方便、快捷、更准确，避免了光刻的过程和光刻显影过程中显影液对膜厚的减损，以及台阶测厚仪本身可能造成的测量误差。
关键词：FT—IR；薄膜微波电路；光刻胶；厚度
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