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光学光刻中的离轴照明技术

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:131 | 2010-11-11

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提要：本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术。主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照
明与传统照明作了比较，并用 仿真软件进行了模拟分析。研究表明，离轴照明是一种很有效的光刻分辨率增强技术
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