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半导体晶圆翘曲度测试方法

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:0.27 MB | 2022-11-18

szzhongtu5

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翘曲度是实测平面在空间中的弯曲程度，以翘曲量来表示，比如绝对平面的翘曲度为 0。计 算翘曲平面在高度方向最远的两点距离为最大翘曲变形量。
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