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基于位置敏感探测器的微位移测量关键电路设计

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:1.19 MB | 2012-10-10

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位置敏感探测器PSD（Position Sensitive Detector PSD）具有位置分辨精度高（可达1～2 μm）、输出实时性好（响应时间约几微秒）、系统简洁的特点，在位置探测及相关领域内获得了广泛的应用；但PSD的输出信号小，易受到电路噪声的影响，若要充分发挥其性能，则需要高精度、高稳定度、低噪声的测量电路。针对PSD这种较高的使用要求，通过对其等效模型的分析，找到了影响位置分辨精度的主要因素，并提出了一种新形式的测量电路，减少了测量电路级数，降低了电路的噪声以及测量电路内部的漂移，同时具有对位置测量非线性的校正功能。采用上述原理以S1880 PSD建立的位置测量系统的位置分辨达到2～3 μm。

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