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高精度滚转角干涉仪

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:170 | 2009-06-30

王平

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提出了一种基于横向塞曼激光器的新的滚转角测量系统。该系统在已有技术的基础上,将测量放大倍率又扩展了4 倍,从而大大提高了滚转角的测量精度。系统以横向塞曼激光器出射的正交线偏振光作为测量光,首先经1/4 波片将线偏振光变成微椭圆偏振光(即进行微椭偏化) ,然后测量光通过作为传感器的1/ 2 波片,由直角反射镜将光路折回,使测量光再次通过作为传感器的1/ 2 波片。由于直角反射镜提供了合理的坐标变换,所以使得测量光在两次通过1/ 2 波片时,偏振方向的改变被叠加了,相当于被测量的滚转角放大了4 倍。最后测量光经检偏器合成,再用光电探测器接收。由测量光的相位变化可以求出工作台的滚转角变化。在整周期内,测量光的相位变化与滚转角成非线性关系,但在特定的角度上会出现线性很好的滚转角测量灵敏度倍增区。采用这种方法,测量放大倍率可以达到200 倍,能够实现高精度的滚转角测量。使用分辨率为01003°的相位计,滚转角的测量分辨率可达到011″。
关键词: 滚转角; 灵敏度倍增; 偏振方向改变; 横行塞曼激光器

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