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用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:259 | 2009-07-10

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传统速度检波器由于内在结构的限制,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/ O 公司利用MEMS 技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性,可在检波器内部进行模/ 数转换,实现检波器数字信号输出。文章对MEMS 技术特点及发展现状、MEMS 加速度传感器结构及主要技术性能做
简要介绍,并给出了传统检波器与MEMS 加速度传感器野外数据采集的具体实例。
关键词　MEMS 技术　加速度传感器　频率响应　地震勘探
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