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光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:336 | 2009-07-15

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建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型, 利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析, 并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化1
关键词　自谐振; 菲涅耳系数矩阵; 光电激励
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