×

平面磁控阴极用于PEPC等离子体放电实验研究

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:344 | 2009-10-29

贾桂林

分享资料个

平面磁控阴极用于PEPC等离子体放电实验研究:平面磁控阴极用于大面积等离子体放电具有大幅降低放电电压和放电气压的优点，是PEPC首选的放电途径。通过对不同尺寸、不同磁场强度和不同气压状态下放电实验研究表明：在较宽的磁场强度范围内都可实现全口径的均匀等离子体放电，电极几何尺寸的小量变化对放电均匀性的影响不大。给出了满足300mm×300mm放电腔的放电参数。
下载并关注上传者 低至0.43元/天 开通VIP 免费下载

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉

评论(0)
发评论

下载排行榜

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !