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三维MEMS加速度计的测试方法
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2009-11-26
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文章针对一种三维MEMS 加速度计，提出了三维加速度计的测试方法，
并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的
描述，指出该型MEMS 加速度计的结构优点及性能特点。针对该加速度计，作
者设计了测试装置，制作了测试电路，并在文章中详细描述了测试原理及整个测
试过程。
并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的
描述，指出该型MEMS 加速度计的结构优点及性能特点。针对该加速度计，作
者设计了测试装置，制作了测试电路，并在文章中详细描述了测试原理及整个测
试过程。
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