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成门极换流晶闸管(IGCT)的光刻技术的设计工艺研究

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:206 | 2010-06-24

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主要介绍了集成门极换流晶闸管(IGCT)的光刻技术。IGCT器件的光刻次数多，精
度要求高，如何保证光刻质量是关键。根据IGCT光刻的特点，从光刻机的性能、光刻胶的选用
以及刻蚀工艺改进着手，进行了大量的研究工作，较好地保证了IGCT的光刻质量，使芯片梳条
废条率低于万分之二，促成了IGCT器件的研制成功。
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