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白光干涉仪3D形貌测量之美
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2023-11-02
有着“纳米眼”之称的白光干涉仪，是一款在纵向分辨率上可实现0.1nm的分辨率和测量可靠性的光学测量仪器。
白光干涉仪采用的光学轮廓测量法可以非接触式测量非平坦样品，轻松测量出弯曲和其他非平面表面，还可以测出曲面的表面光洁度、纹理和粗糙度等，同时不会像探针是轮廓仪那样损坏薄膜。
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