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用于减薄硅片的蚀刻技术
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2022-06-28
木南hlkn
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高效交错背接触(IBC)太阳能电池有助于减少太阳能电池板的面积，以提供足够的家庭消费能源。我们认为，即使在20μm的厚度下，借助光捕获方案，适当钝化的IBC电池也能保持20%的效率。在这项工作中，光刻和蚀刻技术被用于对厚度小于20μm的晶硅(cSi)晶片的深度蚀刻。
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