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SnO 2薄膜光透过率气体敏感机理的研究

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:292 | 2009-07-13

韩刚龙

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以掺杂SnO 2 薄膜为例, 推导了薄膜上透射光的消光系数与薄膜内极化电子数和极化电子迁移率的关系式。得出当环境气氛中待测气体的浓度变化时, 将导致穿过薄膜的光的透射率与之发生响应, 从理论上说明研制新式的气敏2光信号类型的传感器是可行的。
关键词: 光透过率2气敏; 薄膜; 敏感机理

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