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机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术

消耗积分:1 | 格式:pdf | 大小:272KB | 2015-08-08

pklite

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随着微电子机械系统(MEMsl研究的深入和产业化的需求．检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基 于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统，在此系统之上，采用模糊图像合成技术对MEMS器件的平面搬 运动特性进行测量，并给出了测量结果。
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