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三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-11-14

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文章针对一种三维MEMS 加速度计，提出了三维加速度计的测试方法，并根据测试
结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述，指出该型MEMS加速度计的结构优点及性能特点。针对该加速度计，作者设计了测试装置，制作了测试电路，并在文章中详细描述了测试原理及整个测试过程。分别在三个方向上，对此三维MEMS 加速度计进行了多次对比测试，同时采集包括标准加速度计输出和MEMS 加速度计三向输出在内的四路信号，以便进行冲击方向上两加速度计的横向对比和三向MEMS 加速度计的轴间耦合分析。测试结果表明，此测试方法和装置是可靠有效的，且具有一定的通用性可用于其它类似传感器的测试分析中。
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