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Sentaurus是什么？半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD教程概述

消耗积分:0 | 格式:ppt | 大小:3.29 MB | 2018-09-11

糖不苦1994

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　　Sentaurus TCAD全面继承了Tsuprem4，Medici和ISE TCAD的特点和优势，它可以用来模拟集成器件的工艺制程，器件物理特性和互连线特性等。

　　Sentaurus TCAD提供全面的产品套件，其中包括Sentaurus Workbench， Ligament， Sentaurus Process， Sentaurus Structure Editor， Mesh Noffset3D， Sentaurus Device， Tecplot SV，Inspect， Advanced Calibration等等。

　　Sentaurus Process和Sentaurus Device可以支持的仿真器件类型非常广泛，包括CMOS，功率器件，存储器，图像传感器，太阳能电池，和模拟/射频器件。

　　Sentaurus TCAD还提供互连建模和参数提取工具，为 优化芯片性能提供关键的寄生参数信息。

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