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电容式微机械加速度计闭环系统的零偏

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:262 | 2010-08-17

吴湛

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D为解释电容式微加速度计闭环系统零点不惟一的
特殊现象=对其力学模型和电路特性进行理论分析=推导了
闭环输出Q零偏Q零偏重复性Q检测盲区宽度等公式=建立新
的静平衡模型H通过零偏与预载的关系实验=定量分析了零
偏不重合度Q零偏重复性等=并对实验数据进行误差分析H该
静平衡模型揭示了动齿的运动规律=证明检测盲区宽度和零
偏重复性成正比=成功解释了两个零点问题H指出提高零偏
重复性指标的方法=对于微机械结构的设计Q预载的选择也
具有指导意义H

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