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碳化硅的物理特性和特征

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:0.14 MB | 2023-02-20

刘伟

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碳化硅（SiC）是比较新的半导体材料。一开始，了解一下它的物理特性和特征。
SiC是由硅(Si)和碳(C)组成的化合物半导体材料。其结合力非常强，在热、化学、机械方面都非常稳定。SiC存在各种多型体(多晶型体)，它们的物理特性 值各有不同。4H-SiC最适用于功率元器件。下表为Si和近几年经常听到的半导体材料的比较。
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