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压阻式微加速度计的结构优化设计

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:225 | 2009-11-26

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在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验，通过改变一个系统参数
来分析系统性能。但随着系统参数的日益增加，这种类型的优化变得越来越困难。鉴于此，本文介绍了利用ANSYS 软件对压阻式微加速度计进行结构优化的设计的方法，通过对压阻式微加速度计原结构和优化后的结构进行分析比较，加速度计的结构灵敏度提高了一个数量级，输出灵敏度提高了4 倍以上。本文也对微加速度传感器的工作原理和有限元优化的相关概念作了简单的介绍。
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