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力平衡式三轴微加速度计的设计与分析

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:507 | 2010-08-09

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计了一种具有单一检测质量的力平衡式三轴微加速度计．采用硅一硅键合工艺形成作为单一检测质量
块的硅片组合，利用全差分电容检测法实现对加速度三轴分量的检测．通过提高检测质量的重心，有效增加了x、y
轴的灵敏度．利用ANSYS仿真软件对该微加速度计进行了模态及静力学分析，提出了优化设计参数．3个检测模态
(1阶、2阶和3阶模态)的频率分别为1．329 kHz、1．345 kHz和2．174 kHz．通过优化设计，提高了3阶模态和4阶
模态的频率差距，降低了其他高阶模态的干扰．在1009(g为重力加速度)的z向加速度作用下，悬臂梁所受的最
大应力为46 MPa，小于单晶硅的弯曲极限值70～200 MPa．静力学分析表明，加速度计的悬臂梁结构参数能够满足
加速度计的力学性能要求．
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