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叉指微加速度计的设计与闭环检测研究
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2009-11-26
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设计了一种“叉指式”微机械加速度计和相应的闭环检测电路，介绍了此微加速度计的加工工艺，并使用Ansys 软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合。最后对该闭环微加速度计进行了测试，得到的测量线性度为2.5%，刻度因子为3V/g。
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