×

DRT MC SOI LIGBT器件新结构的可实现性初探

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:283 | 2010-02-22

分享资料个

DRT MC SOI LIGBT器件新结构的可实现性初探

本文在介绍了减薄漂移区多沟道SOI LIGBT结构雏形之后,首先初步探讨了这种器件的先进VLSI工艺可实现性;然后比较深入讨论了减薄漂移区的工艺可实现性和与漂移区厚度相关的漂移区新结构可实现性;接着指出了这种器件雏形结构存在的几个主要问题,有针对性的分析了改进措施,并提出了同心圆环源漏互包SOI LIGBT新结构。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

评论(0)
发评论

下载排行榜

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !