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光学加速度计方案的初步研究
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2010-08-09
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本文在阐述加速度计发展、应用以及基本工作原理的基础上，分析了几种光
学加速度计方案，并对其基本结构及工作原理做了较为详细的介绍，对每种方案
的优缺点进行了简单的描述。最终选取基于挠变反射镜的光学加速度计作为本文
研究的重点。对光学加速度计相关理论，包括激光拍频检测原理、激光稳频技术
等有较为详细的叙述。着重对光学加速度计挠变反射镜进行了初步设计、理论分
析、仿真分析和初步实验研究，初步得到了该光学加速度计的测量量程、灵敏度
等参数。并对其改进结构进季亍了有限元ANSYS仿真分析。通过理论分析，得到了
挠变反射镜弹性敏感元件结构参数对其灵敏度及固有频率的影响程度；通过结构
静态分析及模态分析，得到了弹性敏感元件结构参数与位移变化量之间的关系式。
本文对光学加速度计的进一步研究有～定的指导意义。
关
学加速度计方案，并对其基本结构及工作原理做了较为详细的介绍，对每种方案
的优缺点进行了简单的描述。最终选取基于挠变反射镜的光学加速度计作为本文
研究的重点。对光学加速度计相关理论，包括激光拍频检测原理、激光稳频技术
等有较为详细的叙述。着重对光学加速度计挠变反射镜进行了初步设计、理论分
析、仿真分析和初步实验研究，初步得到了该光学加速度计的测量量程、灵敏度
等参数。并对其改进结构进季亍了有限元ANSYS仿真分析。通过理论分析，得到了
挠变反射镜弹性敏感元件结构参数对其灵敏度及固有频率的影响程度；通过结构
静态分析及模态分析，得到了弹性敏感元件结构参数与位移变化量之间的关系式。
本文对光学加速度计的进一步研究有～定的指导意义。
关
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