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8检测功能的闭环加速度计接口电路设计

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:450 | 2010-08-09

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为了改善微机电系统(MEMS)电容式加速度计的噪声特性，提出了一种基于开关电容的低噪声闭环接口电路。该
电路采用电荷积分器作为前级预放大装置，对寄生电容不敏感，而且具有非常低的噪声。采用相关双采样(CDS)技术消
除了1／f噪声和运算放大器失调电压的影响。同时，为了改善系统的动态响应特性，反馈部分采用积分电路，提高了系
统阻尼比和响应速度。利用电荷泻放通道实现了自检测功能。采用0．5肛m CMOS工艺完成了版图设计，仿真结果表
明，系统灵敏度为0．115 V／g，非线性度
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