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新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计
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2010-08-17
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提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计．根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度
走小，保证输出电压与加速度之间的线性度系统刚度可由静电力调节为了提高电学灵敏度，在检测电容极板上
设计高K介质层，增大了检测电容量，减小了杂散电容的影响使用CoventorWare对本设计进行机械分析、力电耦
合分析和模态分析，仿真结果与理论计算相吻合加速度计使用简单的表面牺牲层工艺即可完成，具有很好的发展
前案．
走小，保证输出电压与加速度之间的线性度系统刚度可由静电力调节为了提高电学灵敏度，在检测电容极板上
设计高K介质层，增大了检测电容量，减小了杂散电容的影响使用CoventorWare对本设计进行机械分析、力电耦
合分析和模态分析，仿真结果与理论计算相吻合加速度计使用简单的表面牺牲层工艺即可完成，具有很好的发展
前案．
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