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微机械电容式加速度计检测电路设计
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2010-08-17
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通过对MEMs电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较，结合直流充放电检测方法和
交流测量方法的优点，设计了微分检测电路，用方波作为载波。该电路由方波信号发生器、微分电路、全波
整流电路和滤波电路组成。经试验验证：可检测到lO。6 F的差分电容，且其非线性度小于±l％Fs，可作
为MEMS电容式加速度计的后续处理电路。
交流测量方法的优点，设计了微分检测电路，用方波作为载波。该电路由方波信号发生器、微分电路、全波
整流电路和滤波电路组成。经试验验证：可检测到lO。6 F的差分电容，且其非线性度小于±l％Fs，可作
为MEMS电容式加速度计的后续处理电路。
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