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谐振式微机械加速度计设计的关键技术

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:356 | 2010-08-17

吴湛

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谐振式微机械加速度计直接输出频率信号，具有稳定性好、精度高的特点。分析了谐振式微机械加速度计的工作机
理，建立了第一级敏感结构、杠杆机构和第二级敏感结构的数学模型，指出了实现高灵敏度加速度测量的关键技术在于支撑
梁、质量块、谐振器和杠杆机构的设计。提出了一种谐振式微机械加速度计结构，进行了结构的优化设计和仿真计算，得出的
性能指标：谐振频率98 858 Hz，Q值673．9，灵敏度24．52 Hz／g,．
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