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静电悬浮微机械加速度计设计
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2010-08-17
无人岛
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设计了一种基于静电悬浮原理的微机械加速度计!
它采用三明治结构的微敏感元件"电容式位移检测方案及静
电力悬浮控制方案!着重对敏感元件的主要结构设计#参数
的选取#支承静电力的计算以及量程极限#精度极限等问题
进行了分析"表明在目前技术条件下"可以实现量程约$%"
精度为&’($%的悬浮微加速度计!设计并加工出一种圆环
形结构的敏感元件"已实现了)轴方向的静电悬浮及加速
度测量"证明设计方案是可行的"进一步研究可实现三轴悬
浮加速度计!
它采用三明治结构的微敏感元件"电容式位移检测方案及静
电力悬浮控制方案!着重对敏感元件的主要结构设计#参数
的选取#支承静电力的计算以及量程极限#精度极限等问题
进行了分析"表明在目前技术条件下"可以实现量程约$%"
精度为&’($%的悬浮微加速度计!设计并加工出一种圆环
形结构的敏感元件"已实现了)轴方向的静电悬浮及加速
度测量"证明设计方案是可行的"进一步研究可实现三轴悬
浮加速度计!
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