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MEMSIC攻克加速度计难题
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2017-09-03
jfsteve
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加速度计在很多市场中都有着重要的作用。智能手机中会用到加速度计，汽车中也会用到加速度计。这一器件在医疗中的应用也是与日俱增。测量速度的变化率似乎可以有无限的应用。因此，根据 Yole Développement 公司“2015 年 MEMS 行业状态报告”显示，MEMS 加速度计去年总计发货超过 20 亿台并不足为奇。有很多设计技术可用来创建加速度计。其中一种常用的技术是制造具有弹簧悬挂质量块的 MEMS 器件（图 1）。发生加速时，质量块将会产生移动进而缩短固定齿和可动齿之间的间隙，电容也相应地发生变化。由于固定齿上加有电压，当质量块移动时，可动齿会由于电容的变化产生电压。测量该电压即可确定加速度。然而，可动部件会受到以下情况的影响：粘滞（两个紧密相邻的表面，如梳齿，彼此粘附）、振动产生的误差以及冲击 （g-force） 导致的可动部件的断裂。
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