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MEMS双工器：安华高ACMD-7612

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:417KB | 2015-12-29

jinyi7016

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ACMD-7612 是一款采用 Avago 的薄膜体声波谐振器（FBAR）技术制造的 MEMS 双工器，谐振层 材料为 AlN 压力材料。该器件采用真空晶圆级封装，使得整个芯片高度小于 1.2mm；采用硅通孔 （TSV）技术蚀刻盖帽实现电气接触，使得芯片尺寸减小。
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